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操作真空镀膜机-1

2017-4-2 9:28:04点击:
真空镀膜机,实验仪器定制



在使用致研科技定制实验仪器——真空镀膜机时,可参考如下操作步骤。


第一步,打开设备电源,然后操作手动按扭启动设备抽真空。


然后再打开冷却水阀门(膜厚检测仪用),启动机械泵,打开箱体背部真空手动阀开始对箱体抽低真空。


当正空室在低真空度正常以后,对蒸发室抽高真空。

如果需要对工件进行离子轰击,在蒸发室真空度10~1Pa范围内可进行。离子轰击电压可用控电柜面板上调节旋钮调节。轰击时,工件架必须匀速转动(转速由用户根据需要选择),以便对工件进行均匀轰击。若需较长时间进行离子轰击(轰击时间不应超过5min),或用手动充气阀进行充气,使真空度维持在10~1Pa范围内以行到最佳效果。



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